真空系统部分、酸碱排气系统部分、有机排气系统部分。
真空系统是将工艺用气设备的尾气抽到相应的废气处理设备(如盖斯帕克Scrubber废气处理柜)上的系统,而酸碱排气系统、有机排气系统是将工艺用气设备环境的排气到室外的水淋、中和处理装置中。
真空排气系统都要用到相应的管道、阀门、压力表、过滤器等,须根据实际情况选材。盖斯帕克代理几大一线进口品牌真空泵,如普旭(PUSH)、爱德华(Edwards)等。