大宗气体工程

　　大宗气体：

　　集成电路芯片厂中所使用的气体按用量大小可以分为二种：用量大的称为大宗气体(Bulk gas)，用量较小的称为特种气体(Specialty gas)。

　　大宗气体通常有：氮气、氧气、氢气、氩气、氦气等，其中最常见常用的为氮气。

　　大宗气体工程即集中供气系统工程，分为气源部分，输送管道部分，终端配置设备部分。

      集中供气系统工程组成

　　气源部分：储气装置有GC/GR，混流排、单瓶或双瓶多瓶面板等，根据气体的不同性质来选择，如腐蚀有毒易燃易爆特气则用GC，普通惰性气体用GR。

　　管路部分：不同性质气体用不同材质，如特气为双套管，用EP级不锈钢管作内管，外管为BA级不锈钢管，普气则选用BA级不锈钢管。

　　终端部分：VMB/VMP、单面板。根据不同气体性质选择，如特气选用VMB，普气选用VMP。

　　大宗气体工程设计施工要求：

　　1.管件的选择，业内多数使用SUS316不锈钢材质管，而该类管的抛光等级上却有不同，然而不同的气体对管件有着不同的要求，易燃易爆及毒腐气体对管件要求比较高，普通电子气体的要求则相对较低。

　　2.阀门组件选择，不同的阀门有着不同的密封性，其制作工艺上也有很大的区别。对于危险性气体要选用密封线较高的阀门。

　　3.减压设备选择，减压设备要严格根据气体输送压力来选择，减压范围要合理，使其压力变更更加精确。

　　4.气路泄漏侦测是整个工程必不可缺少的部分，部分危险气体泄漏后危险性极大，所以在安全方面必须有着极为严格的要求!

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