一、半导体/集成电路

盖斯帕克长期与集成电路厂家合作，专门开发设计安装的高纯的EP级特气柜、气体分配柜广泛用于湿蚀刻(wet etching)、干蚀刻(dry etching)、常压化学气相淀积（APCVD）、低压化学气相淀积（LPCVD）、等离子体化学气相淀积（PECVD）、溅射（PF）、光刻等半导体设备的供气服务，同时还算征对各家工厂的实际特点，量身定制地开发了危险气体监控管理系统（GDS），为厂家的安全生产保驾护行。还相应开发了上述生产设备的尾气处理系统，保证了工厂废气的排放达标