名称：阀门分配箱(Valves Manifold Box)

　　规格：一进16出

　　型号：HSPVMB130616

　　■ 特气柜尺寸：W550宽×D500深×H600高

　　■ VENT排空管：1/2MVCR接口

　　■ 工艺气体：1进N出(N=2~16)

　　■ 盘面规格：1/4"盘面

　　■ 标准配备：防爆防腐柜体，防爆自锁门，防爆玻璃观察窗，泄漏报警，主材SS316L

　　■ 箱体换气量: 4"排气口，SiH4-1200次/小时，其余300次/小时

　　■ 选配：外吹扫，抽真空，全自动控制，工艺气体超压报警，远程切断，盘面加热及温控装置，泄漏报警，报警信号手机短信与电话通知

　　适用范围：应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上，适用于高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。