名称：阀门分配箱(Valves Manifold Box)

规格：一进多出

型号：HSPVMB130602 

■ 特气柜尺寸：W550宽×D500深×H600高 

■ VENT排空管：1/2MVCR接口 

■ 工艺气体：1进N出（N=2~9） 

■ 盘面规格：1/4"盘面

■ 标准配备：防爆防腐柜体，防爆自锁门，防爆玻璃观察窗，泄漏报警，主材SS316L

■ 箱体换气量:4"排气口，SiH4-1200次/小时，其余300次/小时 

■ 选配：外吹扫，抽真空，全自动控制，工艺气体超压报警，远程切断，盘面加热及温控装置，泄漏报警，报警信号手机短信与电话通知 

■ 适用范围：应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上，适用于高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。