气路管道排空

气路管道排空-电子特气系统工程 什么是特气 易燃易爆的气体、有毒的气体、有腐蚀性的气体、纯度特别高(超过99.999%)的气体统称为特气。(GB 50646-2011) 特气系统工程 特气系统是指特种气体的储存、输送与分配过程的设备、管道和部件的总称。特气系统工程是用于实现特气系统安全使用的工程。(GB 50646-2011) 特气系统组成 特气系统由储存、输送、分配、控制四类设备组成。其中“存储”指气源部分(特气柜GC)，“输送”指配管部分(一般用双套管)，“分配”指二次配部分(气体分配柜VMB)，“控制”指监督控制部分(气体管理系统GMS)。 特气系统特点 特气系统中的每台设备均配有PLC控制、彩色触摸屏操作，带有温度、压力、烟雾、泄漏监控报警，并可扩展地震监控报警;单台设备可以独成系统独立运转，也可多台设备用PLC或TGO连起来组成大系统，在监控中心统一监控管理，其报警系统还可以与安监系统、消防系统对接。 适合场合 芯片半导体、微电子企业、光伏太阳能、生物制药、新材料等行业，常配套用于溅射真空镀、沉积刻蚀、钝化清洗等设备。