CVD设备的scrubber的功能原理及其安装位置，scrubber有什么作用，scrubber有根据工作原理分为哪几种，scrubber通常安装在什么位置？

严格控制进入洁净室的人员数量，由洁净室专职管理人员、企业负责人共同确定洁净室的操作人员数量， 一经商定必须严格控制；严格控制临时进入洁净室的维护、检测人员和其他人员，如参观者等，临时进入者必须办理申请、批准手续并佩带进出

实验室集中供气就是将所有气瓶集中存放在气瓶房,气瓶通过减压阀和输气管道将气体输送到各个实验室(即仪器端),其流程如下

实验室集中供气系统要求

SiH4管道采用双套管连接方式，内管使用SS316L EP（电子抛光）不锈钢管，外管采用SS316LBA不锈钢管，三通采用成品双套三通，弯头为套管自动焊接，内外管道连接采用自动轨道氩弧焊；设备、阀门无法兰、卡套或螺纹连接， 终端隔膜阀采用VCR接头

一个好的实验室通风系统工程的重要性