CVD设备的scrubber的功能原理及其安装位置

　　CVD设备scrubber的功能

　　CVD设备scrubber基本上是专门为CVD设备尾气处理设计的装置。CVD尾气通常含有大量颗粒和难以处理的未反应、爆炸性、易燃性或毒性气体废气。scrubber是一种专门为减少后端处理的麻烦和安全性而设计的装置。可使用局部scrubber专用CVD设备单台或多台，

　　scrubber设备废气处理方式(处理废气原理)

　　scrubber设备处理废气主要通过燃烧型、加热型、等离子型，水洗等流程，根据情况不同选用的处理方式也不同。

　　scrubber根据不同的工艺产生不同的尾气;选择不同的处理方法!

　　1、scrubber该设备包括电加热型、气体型、吸附型和等离子体型。吸附型需要更换吸附桶，使用起来相对昂贵，但维护起来最方便。

　　2、通常，可以加热水洗型，并且可以使用水洗加热再水洗型。SiH4在燃烧后与SIO2反应。NH3与水反应生成晶体。NF3、WF3、SIF4、C2F6的离子键在燃烧后会打开，与水反应生成氟化氢。

　　scrubber设备的安装位置

　　scrubber设备通常安装在设备真空泵和废气排放总管之间。有毒有害废气由真空泵抽至scrubber设备进行处理，然后排放出去。