一. SiH4气体管道技术要求 （自燃、易燃类气体）

SiH4管道采用双套管连接方式，内管使用SS316L EP（电子抛光）不锈钢管，外管采用SS316LBA不锈钢管，三通采用成品双套三通，弯头为套管自动焊接，内外管道连接采用自动轨道氩弧焊；设备、阀门无法兰、卡套或螺纹连接， 终端隔膜阀采用VCR接头；

不锈钢管应采用氩弧焊，为防止管道内壁产生氧化膜及尘埃粒子侵入，应通入经0.01μm～0.03μm过滤器过滤的洁净氩气保护；管道连接暂停施工时，应充高纯Ar保护，管头应用塑料管帽封堵； 

管道系统试压规定及要求 

1) 强度实验：实验压力0.6Mpa，实验介质为高纯氮气，30min内压力不降为合格； 

2) 严密性实验：实验压力0.5Mpa，实验介质为高纯氮气，实验时间24H，压力不降为合格； 

3) 氦检测试：试验介质为高纯氦气，泄露率1*10-9 atm.cc/sec 

二. NH3气体管道技术要求 （毒腐类气体）

NH3管道采用SS316L EP（电子抛光）不锈钢管,三通采用成品三通，大于1/2”弯头采用成品弯头，小于1/2”弯头采用弯管器施工，管道连接采用自动轨道氩弧焊；设备、阀门无法兰、卡套或螺纹连接；管道全程恒温伴热； 终端隔膜阀采用VCR接头； 

不锈钢管应采用氩弧焊，为防止管道内壁产生氧化膜及尘埃粒子侵入，应通入经0.01μm～0.03μm过滤器过滤的洁净氩气作保护；管道连接暂停施工时，应充Ar保护，管头应用塑料管帽封堵； 

3．管道系统试压规定及要求 

1) 强度实验：实验压力0.6Mpa，实验介质为高纯氮气，30min内压力不降为合格； 

2) 严密性实验：实验压力0.5Mpa，实验介质为高纯氮气，实验时间24H，压力不降为合格； 

3) 氦检测试：试验介质为高纯氦气，泄露率1*10-9 atm.cc/sec