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厂房气路安装方案
2020-12-02
厂房气路安装方案-气体管道工程气体存放及输送系统
气体管道工程气体存放及输送系统,气体管道工程是输送气体的一种工程,不同种类的气体该如何存放,气体输送系统调试及检验方法都会提到。那么气体管道工程的组成件有哪些?下面由深圳盖斯帕克公司的工作人员为大家介绍:
1、气体管道组成件(管子、阀门、管件、法兰、补偿器、密封垫片、紧固件、膨胀接头、挠性接头、耐压接头、耐压软管、疏水器、过滤器、分离器等)
2、管道支承件包括安装件(吊杆、弹簧吊架、斜拉杆、平衡锤、松紧螺栓、支撑杆、链条、导轨和锚固件以及负荷式固定件,如鞍座、底座、滚柱、托架和滑动支座)和附着件(管吊、吊耳、卡环、管夹、U形夹、紧固夹板和裙式管座)
3、管道的焊接材料(焊条、焊丝、焊剂、保护气体)等应按管道系统配套按工期要求供货,满足施工进度。
4、其他材料如玻璃钢、橡胶、塑料、油漆、隔热(保热或保冷)材料、防水材料、防腐材料等,能保证按工期要求供货。
[b] 行业气体的分类[/b]
普通气体,也称大宗气体 (Bulk gas ):氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(A2)等
特种气体(Specialty gas )主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3POCL3 SIH2CL2
SIHCL3NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等
[b] 特种气体存放及使用[/b]
针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体,通常设计将钢瓶置于气瓶柜(Gas Cabinet)内,再透过管路将气体供应至现场附近的阀箱(VMB,
ValveManifold Box),而后再进入制程机台的使用点(POU, Point of Use),于进入机台腔体之前,会有独立的气体控制盘(GB,
GasBox)与制程控制模块联机,以质流控制器(MFC, Mass
FlowController)进行流量之控制与进气的混合比例控制,通常此气体控制盘不属于厂务系统的设计范畴,而是归属制程机台设备的一部份。一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架(GasRack)与阀盘(VMP,
Valve Manifold Panel)进行供应。