高纯气体管路材质及标准

　　高纯气体管路材质及标准

　　所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点（POU），为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。

　　高纯管路的材质则依使用的需求进行选择

　　1、EP管：若为制程用的反应气体则选择高等级的316LEP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximumpeaktovalleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(BrightAnneal)处理之316LBA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316LBA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。

　　2、AP管：另一种未经特殊处理的AP管(Annealing&Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。

　　目前在国内洁净管道可参照标准比较少，通常我们除了参照《洁净厂房设计规范》《氢气站设计规范》《氢氧站设计规范》《压缩空气设计规范》等有关技术行业技术规范外，在业内我们惯用的选材与配管一般参照国际通用的行业标准：在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露点的要求也越来越高。