电子特气管道系统氦泄漏检测种类及相关规定

　　电子特气管道系统氦泄漏检测方法的类型

　　特气系统气体管道氦泄漏检测顺序应为内向泄漏检测法、阀座泄漏检测法和外向泄漏检测法。

　　1.内部检漏法(喷氦法)采用管道内部抽真空、外部喷入氦的方法来检测泄漏，测试管道系统的泄漏率。

　　2.阀座泄漏检测方法采用阀门上游充氦、下游抽真空的方法检测泄漏，测试管道系统的泄漏率。

　　3.对于外向泄漏检测方法(吸枪法)，应在管道内部填充氦气或氦氮混合物，并用外部抽吸枪检查泄漏点，以测试管道系统的泄漏率。

　　电子特气管道系统氦泄漏检测规定

　　1.氦检漏仪应采用质谱型氦检漏仪，其检测精度应不低于1×10-10mbar×l/s

　　2.特气系统，通过内向泄漏检测方法测量的泄漏率不得大于1 * 10-910mbar×l/s;

　　3.阀座泄漏测量方法测量的泄漏率不得大于1 * 10-6mbar×l/s;

　　4.由外向泄漏检测方法确定的泄漏率不得大于1 * 10-6mbar×l/s

　　电子特气管道系统中氦泄漏检测的注意事项

　　氦气检漏发现的泄漏点应进行修复，并再次进行气密性试验，试验合格后按规定进行氦气检漏。所有可能的泄漏点应通过塑料袋隔离。系统测试完成后，应填充和吹扫高纯氮气或氩气。试验完成后，应提交试验报告。