硅烷的控制系统设计应该注意哪些因素

　　硅烷的控制系统设计应该注意哪些因素

　　硅烷在高科技种应用越来越广泛，硅烷有什么作用，硅烷控制系统设计有哪些要求?这里将进行介绍。

　　硅烷之所以在高科技中被广泛应用并且越来越重要, 首先是与它的特性有关，同时也与现代高技术的特殊需求有关。通过热分解或与其它气体的化学反应，

　　硅烷的作用

　　1、可由硅烷制得单晶硅、多晶硅、非晶硅、金属硅化物、氮化硅、碳化硅、氧化硅等一系列含硅物质。

　　2、利用硅烷可以实现zui高的纯度、zui精细(可达原子尺寸)的控制和最灵活多变的化学反应。从而将各种含硅材料按各种需要制成复杂精细的结构, 这正是现代具有各种特异功能的材料和器件所要求的基本条件。

　　硅烷控制系统设计规范

　　1、硅烷由于其极其危险性，整套系统应该设置独立的惰性气体钢瓶进行吹扫，不得采用管道氮气吹扫;

　　2、应该配备惰性吹扫装置、气体泄露侦测器、火焰探测器等;

　　3、硅烷系统的排气管不得接入排风系统;

　　4、排气管应采用惰性气体连续吹扫，吹扫气体流速不得小于0.3m/s

　　5、排气的硅烷浓度较高时，应采用燃烧式尾气处理装置处理后排入大气。