气体控制面板的设计

　　气体控制面板的设计

　　气体控制面板是气路系统中重要的一个控制单元，这里主要围绕易燃易爆性、毒腐性、面板控制等介绍，包括特气面板设计规范和作用等内容。　　

　　特气输送面板介绍

　　特气输送面板是气源部分非常重要的控制单元。一般工艺气体从钢瓶出来，经过高压控制盘面时，都实现了一次调压、过滤、流量稳定、吹扫、抽真空、压力侦测等功能。不同的气体和工艺需求，可以根据实际情况定制具体功能。现阶段，越来越多的高校实验室引入了ICP、PVD、PEVCD等设备进行芯片镀膜、刻蚀方面的研究，这些工艺气体多是硅烷、乙烯、溴化氢等毒腐、易燃易爆性气体，对于气源的控制要求非常高，也给供气面板提出了很多要求。

　　特气面板设计规范

　　1、自然性、可燃性、毒性、腐蚀性气体面板应设有紧急关断阀门，并应为常闭气动阀门，位置应靠近气瓶;

　　2、气瓶压力大于0.1MPa的自然性、可燃性、毒性、腐蚀性气体面板应设有过流开关;

　　3、自然性、可燃性、毒性、腐蚀性气体面板应设有惰性气体吹扫、辅助抽真空装置，真空管路应设止回阀;

　　4、气体面板应设置工艺气体排气口。