实验室高纯供气系统技术要求及安装须知

　　实验室供气系统的功能

　　满足不同实验的要求和安全性。双瓶采用汇流排供气设备，具有手动、半自动和全自动切换功能，并设有低压报警装置，实时监控气压、浓度检测报警和排气，确保客户正常用气和生命财产安全。

　　气路系统常用设备

　　钢瓶(气体压缩机)、钢瓶固定架、钢瓶柜、钢瓶接头、金属软管、半自动开关装置、一级减压器、二级减压器、焊接三通、焊接大、小封头、夹紧套筒阀、不锈钢管(BA)、压力表、可燃有毒气体监测报警装置等。

　　实验室集中供气系统技术要求

　　1、气瓶存放室:

　　(1)气瓶之间应采用300毫米厚的实心墙，安装防爆门，设置防爆窗;

　　(2)室内电气设备应具有防爆功能;

　　(3)应安装排气扇，随时保持良好的通风状态;

　　2、供气系统需要两级减压供气。供气汇流排首次减压。气体从15MPa减压到小于1.5MPa，然后输送到每个气体使用实验室。二级减压器安装在每个用气实验室或用气点，便于对通风柜或仪表的气体输送压力进行统一控制。用气终端装有中压球阀和压力指示器。二级减压器精确调节压力(0.01兆帕)，获得稳定的压力，可以满足仪器对不同使用压力的要求。一级减压器和二级减压器均配有压力表，可实时显示当前压力。

　　3、采用双侧汇流排半自动方式连续供气，完全满足实验室使用要求。更换气瓶时，可以通过安装在高压软管下方的夹紧套更换气瓶;

　　4、氢气和乙炔是易燃气体。应设计气体泄漏检测和报警装置，并安装阻火器，以防止明火回流。应确保放置易燃和助燃气体的足够安全距离。

　　实验室高纯气路布局

　　1.高纯气体管道系统的布置不同于普通气体管道。一般来说，要求管道不要太长，不要有死角，如不容易吹干净的“盲管”。主管或支管的末端应提供必要的排放口和取样口。在一些非连续使用的用户中，让少量气体在管道末端连续排出，从而管道中的气体将正常流动，避免出现“死区”。根据工艺气体的质量要求，必要时应设置终端净化装置。一般来说，控制阀、过滤器、减压装置、压力表、流量计、在线分析仪器等。进入洁净车间的高纯度气体管道集中在气体人口室，便于统一管理和控制。

　　2.高纯气路管道及管道附属材料:高纯气体管道输送管道应根据工艺对气体纯度、允许杂质含量、颗粒含量等的不同要求，采用相应质量的管道。例如，半导体工业不仅需要清洁的生产环境，而且由于其复杂的生产过程和精细加工，对生产过程中所需的各种高纯度气体也有具体和严格的要求。从微米技术到亚微米和深亚微米(小于0.35um)技术，对气体中杂质含量和水分含量的要求非常严格，10-6 (ppm级)不能满足要求。需要达到10-9 (ppb级)甚至10-12(ppt级)，粉尘粒径需要控制在0.05-0.01 μm。因此，输送管道的管道材料特性必须满足高纯度和超高纯度气体的要求。

　　3.管道材料的特性对于输送高纯气体的管道，影响气体质量的管道材料的主要特性是透气性、出气率、吸附性、表面粗糙度、耐磨性和耐腐蚀性。

　　供气系统管道安装要求

　　1、管道敷设应符合设计要求，设计没有要求时，干气管道应水平安装;输送湿气的管道应安装坡度不小于0.003，坡度应朝向冷凝水收集器。

　　2.管道采用焊接连接，钨极氩弧焊打底，手工电弧焊覆盖。不锈钢管焊接或点焊应采取充氩保护措施。

　　3.气体管道和设备、阀门和其他附件应通过法兰或螺纹连接。螺纹接头的填料必须是聚四氟乙烯薄膜;

　　4、气体管道穿过洁净室时，法兰垫片或螺纹填料的外露部分，必须清理干净;

　　5.气体管道采用喷砂除锈或酸洗钝化无缝钢管时，必须采用集中安装方式，安装应在48小时内分段组合，氮气保护，填充压力不小于0.2兆帕;

　　6.对于有接地要求的燃气管道，法兰之间必须焊接导电跳线。导体截面和焊接搭接长度应符合设计要求。焊点必须牢固可靠。

　　供气管道安装注意事项

　　1.所有气体管道由高质量、完全退火和无缝不锈钢管(BA级)组成。铜管仅用于输气管道的末端，对气体纯度的要求不太严格。(例如通风橱)。

　　2、气路安装管道不得敷设电缆和导电线。

　　3.易燃气体，如乙炔，需要与其他气体分开引入。氢气管道与其他可燃气体管道平行敷设时，其间距不得小于0.5M交叉敷设时间间隔不得小于0.25米，分层敷设时氢气管道应位于上方。

　　4.压缩空气有净化装置，用于过滤管道上的杂质和水分。净化装置需要并联连接，并通过单独的阀门分开，以便于过滤装置的维护。

　　5.高纯气体管道的连接采用无缝焊接。接头配件只能在连接到阀门或调节装置时使用。

　　6、每个实验室应有单独的控制阀、减压阀和压力表。

　　7.通向工作台的气体管道应安装单独的控制阀。工作台应设置均匀排放各种气体的控制阀。建议在氦气管道前安装一个气体净化装置。

　　8、每隔1.5米左右，气体管道需要一个支架。此外，根据气体管道的弯曲半径，设置合适的支架位置。必须支持所有弯曲。燃气管道安装管道的所有支架均应镀锌防腐处理。