高纯气体管路阀门及管件相关介绍

　　高纯气体输送管路系统的质量好坏，将会直接影响到高纯气体的纯度、洁净度、干燥度。因此，对于高纯气体输送系统的设计、选材、加工制造、洁净处理及安装使用过程中的各环节严格控制都有十分重要的意义。

　　高纯气体输送管路阀门的选用

　　高纯气体对系统所用阀门的严密性有十分严格的要求，目前国内洁净厂房的高纯气体管道的阀门基本都采用SS304或SS316L不锈钢材质，阀门型式有隔膜阀、波纹管阀和球阀。波纹管阀的严密性比球阀好，在气体流过阀门时没有与外环境接触的填料，所以没有渗漏现象：隔膜阀除了严密性与波纹管阀相当以外，还具有阀体死体积小，易吹除且污染少，所以适用于对气体纯度和生产工艺要求极严格或者危险性大的气体。

　　1、高纯气体一般采用手工氩弧焊接和自动氩弧焊接，焊接型式通常采用承插焊和对焊，承插焊的好处在于施焊时管道的对中，方便焊接，但缺点是由于管道与承插口之间有间隙，会存在“死空间’不易将杂质吹除，影响高纯气体质量。因此对于要求极为严格的高纯气体来说，应采用对接焊连接并要求内表面无焊缝，即在施工时不得使用不锈钢焊丝，利用母材的本身融化填满焊缝。

　　2、为确保输送至用气设备的气体质量，高纯气体管道与用气设备之间应用不锈钢金属软管连接，不宜采用非金属软管。

　　3、高纯气体管道与阀门等附件连接应采用密封不易泄漏的专用接头予以连接，常用的接头方式有两种：分别为VCR(Vacuum Coupling Retainer)和SWG(Swaglok)，VCR采用优良的金属垫，利用纵向压力压紧，因此泄漏率极低，约为10～9A cc/s，且耐压较高，常用于气体杂质含量1.0×10-9级的高纯气输送系统，而SWG则不如VCR，耐压较低，基本上这两种接头方式的安全性足可代替焊接的方式。

　　高纯气体管道连接种类及各自特点

　　螺纹连接

　　螺纹连接对大宗气体，且纯度要求不高的气体管道，当采用镀锌钢管时 ，采用螺纹连接。 螺纹连接的密封材 料采用聚四氟乙烯密封带 ，不得采用传统的油麻。密封带缠绕要得当。不能缠绕的太厚、过长，缠绕太厚或缠绕过多超出管螺纹端头坡 口的话，在螺纹旋紧时，密封带会被丝咬切下，落人管道内形成较大的污染物，因此端口螺纹从坡口始，留出2- 3 个凸牙不缠绕密封带是必要的。

　　对接焊 、承插焊或套管式接

　　1、对于要求纯度很高的管道，采用内壁无瘢痕的对接焊 。高纯氩气保护焊。

　　2、对于纯度要求相对低一些的管道可以采用承插焊或套管焊，承插焊由于气体残留空间比较大 。吹净比较困难 ，现在比较多的采用套管焊接。 套管焊接应使套管和主管具有同等材料和内表面等级， 结合部的间隙不能过大，重叠部分也不宜过长，较为合适的重叠长度在 5mm内。 套管内管加工时，应使主管过盈 ，这样主管被套管紧紧包裹后施焊，焊渣不会落人管内。而且气体死空间也小， 容易吹净 。

　　高纯气体管道组成件存放要求

　　按品种、材质、规格、批次划区存放;不锈钢与碳素钢、低合金钢管道组成件不得接触;室外存放的管道组成件应设置支、垫层;施工现场存放的材料应摆放整齐，标识清楚，专料专用。管道组成件发放时，应核对材质、规格、型号、数量、标识。材料切割前应做好标识移植。

　　高纯气体供应的3种形式

　　1. 现场制气，管道输送供气;

　　2.外购液态气体，气化后管道输送供气;

　　3.外购气体钢瓶，用气体钢瓶(组)供气。某个工程，采用何种方式 ，主要根据工厂的生产规模及气体耗量、用气质量，以及工厂所在城市或区域的气体市场供应等因素经过技术经济比较后确定。