气体管道工程气体存放及输送系统介绍

　　气体管道工程是输送气体的一种工程，本文主要介绍下气体管道工程组成及气体种类，不同种类的气体该如何存放，气体输送系统调试及检验方法都会提到。

　　气体管道工程的组成件有哪些?

　　1、气体管道组成件(管子、阀门、管件、法兰、补偿器、密封垫片、紧固件、膨胀接头、挠性接头、耐压接头、耐压软管、疏水器、过滤器、分离器等)、

　　2、管道支承件包括安装件(吊杆、弹簧吊架、斜拉杆、平衡锤、松紧螺栓、支撑杆、链条、导轨和锚固件以及负荷式固定件，如鞍座、底座、滚柱、托架和滑动支座)和附着件(管吊、吊耳、卡环、管夹、U 形夹、紧固夹板和裙式管座)，

　　3、管道的焊接材料(焊条、焊丝、焊剂、保护气体)等应按管道系统配套按工期要求供货，满足施工进度。

　　4、其他材料如玻璃钢、橡胶、塑料、油漆、隔热(保热或保冷)材料、防水材料、防腐材料等，能保证按工期要求供货。

　　行业气体的分类

　　普通气体，也称大宗气体 (Bulk gas )：氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(A2)等

　　特种气体(Specialty gas )主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等

　　特种气体存放及使用

　　针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体，通常设计将钢瓶置于气瓶柜(Gas Cabinet)内，再透过管路将气体供应至现场附近的阀箱(VMB, Valve Manifold Box)，而后再进入制程机台的使用点(POU, Point of Use)，于进入机台腔体之前，会有独立的气体控制盘(GB, Gas Box)与制程控制模块联机，以质流控制器(MFC, Mass Flow Controller)进行流量之控制与进气的混合比例控制，通常此气体控制盘不属于厂务系统的设计范畴，而是归属制程机台设备的一部份。一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架(Gas Rack)与阀盘(VMP, Valve Manifold Panel)进行供应。

　　气体输送系统调试、测试要求：

　　1、强度实验:管内冲人高纯氮气使压力到达0.8MPa,保持此压力如10min内压力不降为合格;

　　2、严密性实验:管内冲人高纯氮气使压力到达0. 5MPa,保持此压力如30min内压力不降为合格;

　　3、洁净测试:管路中冲人纯氮，关闭所有阀门,打开末端阀用一张白布放在管口一分钟如白布上无杂质和水分即为合格。