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混合手动特气柜（GC）
应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上，适用于高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。
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四瓶全自动气瓶架(GR)
规格：四瓶工艺气瓶，全自动
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落地式阀门控制箱
VMB阀门分配箱，是一种内嵌多支路，实现高纯气体或液体分流的阀门箱。VMB能让高纯原料从单一来源被分配到多点应用。对于每个使用点，压力可被单独地调控，从而可同时满足不同应用的需求。它还可提供吹扫功能和真空抽气功能，因此操作人员能够在无危险气体泄漏的情况下安全地维。除此以外，设备运行过程中能在不影响其它支路气体供应情况下，吹扫某一支路或对其进行真空抽气
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电热水洗废气处理柜(Scrubber)
处理流量：600SLM
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多路监测报警
输入电压：220VAC，50HZ
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2次调压控制面板
将数个气瓶分组汇合后进行减压，再通过主管道输送至使用终端的系统设备，主要用于中小型气体供应站以及其它适用场所。
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