高纯气体气瓶架-高纯气体处理设备

　　高纯气体气瓶架(GR)

　　GR(Gas Rack)是为了满足微电子半导体生产、科研要求而设计的气体输送中转系统。GR一般由架子、阀门盘面、管件、控制器等集中在一起组成。

　　GR多用于普通气体或惰性气体的供应，是气源部分。

　　盖斯帕克高纯气瓶架GR包括：

　　1、根据客户情况的特殊设计，以下安全装备可能将集成于GR

　　①GR有带按键操作的控制柜体，放置于架体上部

　　②可以泄露侦测。

　　③与系统抽风排空系统连接。

　　④自吹扫系统。

　　⑤压力侦测。

　　2、安装环境：

　　①一般在惰性气体气瓶架，方便人员操作，悬挂于墙面。

　　②控制柜柜门开关自如，不得扭曲变形，关闭不严。

　　③必须由专业的安装人员进行安装。

　　3、系统构造：GR是由气瓶架和供气面板组成

　　①柜体的组成：

　　不锈钢烤漆耐腐蚀架体

　　②Gas Manifold 气体面板(根据实际需求可能有增减)：

　　盖斯帕克的设计目标是要开发一条可以符合客户性能，纯度，易用度，易维护度以及系统集成度需求的最优级产品线。初看GR就可以发现许多已经实现了的设计目标。GR设计简洁，每样东西都能很方便的找到和操作。许多部件都组织在一起，以方便维护。无需开门，就可以看见和操作面板。盖斯帕克所实现的，就是一个易于理解、易于使用、并且易于维护。