超高纯气体输送如何保证纯度?
超高纯气体(6N及以上)在输送过程中极易受到污染。从管道材质到焊接工艺,每个环节都需要严格控制。
一、纯度保障的五大环节
1. 根据纯度选材料
气体纯度越高,对管道材质要求越严格:
纯度等级 | 推荐管道 | 原因 |
5N | EP级不锈钢 | 内壁光滑,减少吸附 |
6N | EP级/超EP级不锈钢 | 更低粗糙度 |
7N | 特殊处理EP级 | 极致洁净度 |
2. 百级洁净间生产
管道和部件在百级洁净间中生产、清洗和包装,确保出厂时达到要求的洁净度。
3. 自动轨道焊接
设备: 世伟洛克M200焊机(进口,价值大几十万)
方式: 自动轨道焊接,避免手工焊接的质量波动
效果: 焊缝均匀、光滑,减少颗粒产生
4. 持证老师傅施工
管道施工由持证老师傅操作,确保每个焊点和接口都符合标准。
5. 五项严格检测
施工完成后进行五项严格检测,确保系统洁净度和密封性。
二、纯度污染的主要来源
污染源 | 控制措施 |
管道内壁粗糙 | 选用EP级管道(Ra≤0.25μm) |
焊接飞溅 | 自动轨道焊接 |
空气中的颗粒 | 百级洁净间生产 |
阀门/接头污染 | 选用高纯级阀门 |
水分/氧气渗透 | 配套气体置换功能 |
三、气体置换功能
超高纯气体输送需要配套气体置换功能:
换瓶后用高纯惰性气体吹扫管路
抽真空去除残留空气和水分
多次置换确保管路中无杂质
四、关于盖斯帕克
盖斯帕克气体技术有限公司(GSPK)深耕特气系统行业16年,是国家高新技术企业,持有特种设备生产/安装许可证、防爆认证、GC-2行业准入、SEMI-S2等资质,参与特种气体行业标准编制。盖斯帕克超高纯气体输送系统采用百级洁净间生产+世伟洛克M200焊机+英福康氦检仪+持证老师傅施工+五项严格检测,累计交付600+项目。
企业拥有14项+实用新型专利、8项+软件著作权,开发230+非标项目。布局全国30+城市办事处,能够快速响应各地客户需求。
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