高纯气体管道系统管路连接及阀门选择规范

　　高纯气体管道系统使用的越来越多，高纯气体管道连接很讲究，该怎么连接，气体管道之间阀门如何选择阀门，高纯气体管路系统该怎么布置，这里都将详细介绍。

　　高纯气体管道连接方式及阀门选择

　　纯度在 99.9999%以内的气体管道 ，采用304不锈钢球阀，可以采用法兰连接 ，法兰垫片为软金属垫片、聚四氟乙烯垫片、总杂质含量≤10ppm的气体管道， 采用用隔膜阀和波纹管阀。 可燃爆炸性的气体必须采用波纹管阀。 阀门采用卡套连接，软金属整片。

　　高纯气体管路连接

　　为确保输送至用气设备的气体质量，高纯气体管道与用气设备之间应用不锈钢金属软管连接，不宜采用非金属软管。

　　法兰连接

　　气体管道与设备、管道与阀门的连接，在一些要求不高的气体管道可以采用法兰连接，垫片使用软金属垫片或聚四氟乙烯垫片。 由于石棉会产生粉尘而橡胶的透气性大和吸水性强而且容易老化， 所以不采用石棉垫片或橡胶整片。

　　表面密封连接件连接

　　法兰连接时气体和密封材料接触面大 ，表面磨损也较大， 所以对于高纯气体管道不采用法兰连接。大多采用表面密封连接件，绝大多数采用 V CR 密封件形式。

　　VCR 连接方式

　　气体不接触 密封材料， 流通表面几乎没有磨损 ，它是纵向压力进行压紧，选用质量优 良的金属垫 ，便可以做到很好的密封不泄露、污染少 ，因此得到广泛采用。 选用时做到连接件材料与主管材料一致 ，内表面光洁等级一致。

　　高纯气体管道系统布置

　　高纯气体管道系统布置不同于普通气体管道，一般要求管线不应大长，不应出现不易吹扫干净的“ 盲管 ”等死角。 在干管或支管末端设置必要的吹除 口和取样 口。在一些非连续运行的用户， 在管道末端连续不断的小气量放空， 以使管道内气体常流动，不会出现“ 死空间”。

　　根据过程气体质量要求， 必要时还要布置末端净化装置。一 般在进入洁净厂房的高纯气体管道的控 制阀门 、过滤 器 、减压 装置 、压力表 、流量计 、 在线分析仪器等 ， 集中设在气体人口室内，便于统一管理和控制。