特种气体尾气处理方式

　　特种气体尾气处理方式

　　特种气体对身体健康以及环境都会产生很大的危害，如何处理特气尾气，用什么设备处理，这里将会进行深入介绍。

　　特种气体尾气现状

　　尾气作为特气系统的衍生物不可避免的存在。过去，在很多高校，由于实验室用气量不大，建设单位的业主没有充分意识到尾气的排放问题，随着更多半导体工厂雨后春笋的涌现，生产用特气尾气的排放越来越多的引起了重视。那么怎么排放，如何排放成为摆在很多用户面前的问题。同时，尾气处理装置如何选配，必须具备什么功能，盖斯帕克研究院通过实际项目经验，给大家一一阐述。

　　关键词：

　　尾气处理;处理方法;多方式组合。

　　特气系统尾气排放处理装置的处理方式：

　　尾气处理装置的类型，应根据所处理的排气中特种气体的特性进行选择，不相容特种气体应分别设置尾气处理装置;

　　尾气处理装置应靠近GR、GC等特种气体设备布置;

　　特种气体尾气处理方法宜采用干式处理吸附、湿式洗涤、加热分解处理、燃烧处理、等离子分解处理、稀释处理及以上几种方式的组合。

　　Local Scrubber废气处理柜

　　Local Scrubber(本地式小型废气处理柜)是近年来特气系统使用非常广泛的尾气处理设备，该设备有电加热燃烧、水洗涤等多用途组合，尾气经过设备处理后，再进行排放，也是非常环保的生产方式。