特种气体工艺系统组成及要求

　　特种气体工艺系统一般性要求

　　特种气体工艺系统是用来处理特殊气体的一个系统，这里主要介绍下工艺气体系统及特种气体工艺系统的组成及以下设计方面的要求。

　　工艺气体系统简介

　　我们知道一般工艺气体都是储存在钢瓶中，在集中供气系统中一般要有专用装置储存钢瓶，在过去十多年中，盖斯帕克没有发明集中供气之前，特种气体供应没有形成有效的系统，钢瓶凌乱，管理混乱，不相容气体混放等问题非常严重，极大的影响到用气安全。

　　特种气体工艺系统组成

　　1、储存、供气的气瓶柜、气瓶架、集装格。

　　2、气体分配用阀门箱、阀门盘。

　　3、辅助氮气吹扫系统。

　　4、尾气处理装置。

　　特种气体工艺系统要求

　　1、特种气体工艺系统的设计应满足电子产品生产工艺对特气工艺的参数、污染控制、使用安全的要求。

　　2、不相容的特种气体的排气管道不得接入同一排气系统。

　　3、不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统。