特种气体管道工程

　　什么是特气管道工程

　　本词条特指高纯、超高纯易燃易爆、毒腐性工艺气体的管道输送工程。

　　特气管道工程的特点

　　1. 高压

　　2. 危险性高：毒腐、易燃易爆、自燃等

　　3. 部分毒腐气体呈液态

　　实际案例

　　某高校微电子研究院其ICP、PECVD等进口设备需要用到氢气、甲烷、硅烷、氨气、三氯化硼等易燃易爆、自然、有毒有腐蚀性的气体。

　　气源设置在一楼特气房，管道经管井垂直输送至三楼、四楼实验室设备处。盖斯帕克项目组在此项目施工时充分考虑到现场环境和气体特性，特殊气体在气房放置在特气柜内，其有24小时不间断排风、泄露侦测、压力报警、火焰探测等功能，毒腐性液相气体使用伴热带缠绕盘面，并使用双套管输送，内套管保持负压，并有负压监测。

http://www.szgp.com.cn/content/916.html    　　管道经过管井到达室内后，特气全部进入气体分配箱VMB进行再分配，VMB可以将单一气体压力、流量调节至设备精准需求，最后进入设备使用。