特气系统和高纯气体系统应用及组成

　　特气系统和高纯气体系统应用

　　特气系统和高纯气体系统都是用来输送气体的。将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制，通过管道、无二次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。

　　其基本流程是：气源→管道→VMB→管道→用气点

　　特气系统主要用于特气输送

　　特气柜主要用于易燃易爆腐蚀有毒等危害性气体，特气柜有一个外壳上有抽风管，当发生小泄露等危险情况时可将此类气体排出去避免扩散产生更大危险。

　　特气系统的主要部分

　　1、GC特气柜。

　　2、气体分配用阀门箱。

　　3、辅助氮气吹扫系统。

　　4、尾气处理装置。

　　高纯气体系统应用

　　高纯气体系统主要用于输送纯度要求比较高但是危险性较低的气体

　　高纯气体的主要部分

　　1、GR气瓶架。

　　2、气体分配用阀门分配盘（VMP）。

　　当然一般特殊气体要求也是高纯的，所以特气系统也可以用来输送高纯气体，不过价格比较高。高纯气体系统不能用来输送特气，风险太大了。