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产品名称:
16路阀门分配箱VMB
产品型号:
HSPVMB130616
产品特点:
...
400-900-9093
sales@szgp.com.cn
深圳市南山区松白路百旺信工业园 盖斯帕克科技大厦
产品描述:

  名称:阀门分配箱(Valves Manifold Box)

  规格:一进16出

  型号:HSPVMB130616

  ■ 特气柜尺寸:W550宽×D500深×H600高

  ■ VENT排空管:1/2MVCR接口

  ■ 工艺气体:1进N出(N=2~16)

  ■ 盘面规格:1/4"盘面

  ■ 标准配备:防爆防腐柜体,防爆自锁门,防爆玻璃观察窗,泄漏报警,主材SS316L

  ■ 箱体换气量: 4"排气口,SiH4-1200次/小时,其余300次/小时

  ■ 选配:外吹扫,抽真空,全自动控制,工艺气体超压报警,远程切断,盘面加热及温控装置,泄漏报警,报警信号手机短信与电话通知

  适用范围:应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上,适用于高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。