洁净车间高纯气体管道工程安装要求

　　洁净车间高纯气体管道工程安装要求

　　洁净车间的气体管道是指氢气、氧气、氮气、压缩空气、气体和高纯气体管道以及气压小于等于0.8兆帕的真空管道等一般气体，高纯气体是指气体纯度大于等于99.9995%，含水量小于5×10-4%的气体。高纯、高纯气体管道的建设不同于普通工业管道。轻微的疏忽可能会损害气体质量。

　　一、高纯气体管道外观检查

　　1、无裂纹、缩孔、褶皱、双层皮等缺陷。

　　2、无锈蚀、蚀斑等现象。

　　3、管道平直圆滑，无局部凹陷、擦伤、挤压等缺陷。

　　4、管道内表面的“粗糙度”是否符合设计要求，螺纹处的密封和保护是否良好。

　　5、采购的成品“内表面超光滑洁净管”应有出厂合格证、相关等级证书和资质证书。显微镜检查应随机取样，必须符合设计要求。

　　6、检查成品的外包装是否为“带内表面的超光滑洁净管”，以及盖、塞等密封措施。相应管道的末端满足要求。

　　7、法兰密封面应平整光滑，无毛刺和径向凹槽，凹凸法兰应能自然贴合，凸面高度不得低于凹槽深度。

　　二、高纯气体管道配管准备工作

　　1、无论压力有多大，何种介质和何种用途的管道，下料不得使用氧气、乙炔火焰切割。无论是机械下料还是手动下料，不得在型材上涂抹油脂或润滑剂。

　　2、各种阀门安装前应清洗干净，清洗前应打磨、试压合格，然后拆成零件，并在三氯乙烯或四氯化碳溶剂中浸泡1 ~ 1.5小时。安全阀清洗后应重新测试。

　　3、使用普通不锈钢管时，如果表面有油污，安装后很难清洗。原管道应放入清洗槽中清洗。管道内壁的酸洗工作必须确保去除的腐蚀零件不会损坏未腐蚀的表面。

　　4、氧气管道阀门、附件等。应严格禁止加油，并按照相关要求在安装前严格脱脂。

　　三、高纯气体金属管路连接方式

　　1、焊接。原则上，高纯度和高纯度气体管道是焊接的，但不能直接对接焊接。应使用套管接头。

　　不锈钢管的焊接:采用氩弧焊，将相同纯度的氩气引入管内，防止焊接部位氧化。

　　钢管焊接:40%银电极、氮气保护焊、与工艺气体纯度相同的氮气引入管道。然而，应该注意的是，一旦氮气中断或氮气纯度降低，焊接接头附近将产生氧化铜，这可能导致表面润湿。因此，铜管焊接后，用浸有丙酮的纱布来回擦拭管子内部，以消除焊接处可能产生的氧化物。

　　2、螺纹连接。螺纹连接的气密性不如焊接好，不适合连接高纯度、高清洁度的气体管道。螺纹连接中使用的密封填料残留物有吸入气体的危险，当拧紧内外螺纹时，金属之间的摩擦会产生金属尘粒，污染气体。如果确有必要，当铜及铜、铜及铜合金配件有螺纹时，应在外螺纹上均匀悬挂一定量的焊条，以提高密封效果，尽可能减少金属粉尘。

　　3、法兰连接。螺纹或法兰接头的密封材料应为聚氯乙烯。为了确保密封效果，垫圈上应涂少量氟橡胶(白色，室温固化)。