实验室高纯气体管道设计要求

　　实验室高纯输送对气体管道设计要求非常严格，只有严格按照要求规范制作的设计方案才能更好的保持气体的纯度。

　　实验室高纯度气体管道设计要求规范

　　1. 对于不同性质的气体，需要规划一个独立的供应区域，一般分为腐蚀/有毒气体区、易燃气体区和惰性气体区三个区域, 同样性质的气体，要集中管理。易燃气体区域应特别规划防爆墙和泄漏口。如果空间不足，可以将惰性气体放置在有毒/腐蚀性气体区域。

　　2 、管道设计需要考虑运输距离。距离越长，成本越高，风险也越高。通常较为合理的设计流速为 20 ml/s，可燃气体小于 10 ml/s，毒性/腐蚀性气体小于 8 ml/s。在用量设计方面，需要考虑使用点的压力和管道直径。前者与气体性质有关，后者使用点的管道直径一般为 1/4 "~ 3/8"。

　　3. 根据气体设备的分布情况，纯度较高的气体管网不宜过大或过长; 使用未封闭的圆形管道在系统末端连续排放少量气体是合适的,为了使管网内有较高的纯度气体循环，不会出现造成较高纯度气体污染的 “死空间”。

　　4. 非流动气体的 “死空间” 应在管道中减少，在专用储气瓶和气体设备之间不提供盲管, 应该设置净化控制装置、多阀控制装置来控制每个阀的切换顺序,系统吹扫,确保供气系统安全可靠运行，防止因 “死区” 的形成而导致污染物滞留，降低气体纯度。

　　5. 对于纯度要求不同的气体设备，建议采用不同等级的纯度气体输送系统; 但也可以采用相同等级的输送系统, 在纯度要求较高的气体设备附近设置终端气体净化装置。

　　6. 为了检测高纯度气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续测试仪器，如测量含水量或氧气杂质含量之外,定期取样的试验取样口也应按规定时间设置好取样口，并对纯度较高的气体中各种杂质的含量进行分析。

　　7. 在亚微米集成电路的生产中，需要提供 10-9 级的高纯度气体, 为了保证气体工艺设备末端气体的纯度，使气体中的杂质含量 (包括粉尘颗粒) 控制在规定的值以内,末端净化装置一般设置在装置的前面，或者末端高精度气体过滤器