硅烷全自动特气柜功能及设计规范

　　硅烷全自动特气柜

　　硅烷越来越广泛地应用于高科技行业。由于硅烷是非常危险的气体，所以硅烷特气柜是必不可少的，硅烷全自动特气柜有什么作用?硅烷特气柜的设计要求是什么?

　　硅烷功能及用途

　　1.一系列含硅物质如单晶硅、多晶硅、非晶硅、金属硅化物、氮化硅、碳化硅和氧化硅可以由硅烷制备。

　　2.使用硅烷可以实现高纯度、精细控制(原子级)和灵活多变的化学反应。从而使各种含硅材料可以根据不同的要求制成复杂精细的结构，这是具有各种特定功能的现代材料和器件所需要的基本条件。

　　硅烷全自动特气柜的功能

　　硅烷特气柜主要用于硅烷这类易燃爆特殊气体供应而设计出来的一种供气系统。能够实现全自动切换供气，配合气体泄漏探测器、火焰探测器等组成一套系统。

　　硅烷特气柜及系统设计规范

　　1.硅烷由于其极度危险，整个系统应配备独立的惰性气体钢瓶进行吹扫，不允许管道氮气吹扫。

　　2、应配备惰性吹扫装置、气体泄漏探测器、火焰探测器等。;

　　3.硅烷系统的排气管不得连接至排气系统;

　　4.排气管应连续用惰性气体吹扫，吹扫气体的流速不应小于0.3m/s

　　5.当废气浓度硅烷相对较高时，废气应通过燃烧型废气处理装置进行处理，然后排放到大气中。